Lati kan ọjọgbọn irisi, isejade ilana ti a ni ërún lalailopinpin idiju ati tedious.Bibẹẹkọ, lati pq ile-iṣẹ pipe ti IC, o pin ni akọkọ si awọn ẹya mẹrin: apẹrẹ IC → iṣelọpọ IC → apoti → idanwo.
Ilana iṣelọpọ Chip:
1. Chip design
Chirún jẹ ọja pẹlu iwọn kekere ṣugbọn iwọn to ga julọ.Lati ṣe ërún, apẹrẹ jẹ apakan akọkọ.Apẹrẹ nilo iranlọwọ ti apẹrẹ chirún ti apẹrẹ chirún ti o nilo fun sisẹ pẹlu iranlọwọ ti ọpa EDA ati diẹ ninu awọn ohun kohun IP.
Ilana iṣelọpọ Chip:
1. Chip design
Chirún jẹ ọja pẹlu iwọn kekere ṣugbọn iwọn to ga julọ.Lati ṣe ërún, apẹrẹ jẹ apakan akọkọ.Apẹrẹ nilo iranlọwọ ti apẹrẹ chirún ti apẹrẹ chirún ti o nilo fun sisẹ pẹlu iranlọwọ ti ọpa EDA ati diẹ ninu awọn ohun kohun IP.
3. Silikoni - gbígbé
Lẹhin ti ohun alumọni ti yapa, awọn ohun elo ti o ku ni a kọ silẹ.Ohun alumọni mimọ lẹhin awọn igbesẹ pupọ ti de didara iṣelọpọ semikondokito.Eyi ni ohun ti a npe ni silikoni itanna.
4. Ohun alumọni -simẹnti ingots
Lẹhin ti sọ di mimọ, ohun alumọni yẹ ki o sọ sinu awọn ingots silikoni.Kirisita kan ti ohun alumọni-ite eletiriki lẹhin sisọ sinu ingot ṣe iwuwo nipa 100 kg, ati mimọ ti ohun alumọni de 99.9999%.
5. Ṣiṣe faili
Lẹhin ti a ti sọ ingot silikoni, gbogbo ingot silikoni gbọdọ wa ni ge si awọn ege, eyiti o jẹ wafer ti a maa n pe ni wafer, ti o kere pupọ.Lẹhinna, wafer ti wa ni didan titi di pipe, ati pe oju rẹ jẹ didan bi digi naa.
Iwọn ila opin ti awọn wafer silikoni jẹ 8-inch (200mm) ati 12-inch (300mm) ni iwọn ila opin.Ti o tobi ni iwọn ila opin, iye owo kekere ti ërún kan, ṣugbọn iṣoro processing ti o ga julọ.
5. Ṣiṣe faili
Lẹhin ti a ti sọ ingot silikoni, gbogbo ingot silikoni gbọdọ wa ni ge si awọn ege, eyiti o jẹ wafer ti a maa n pe ni wafer, ti o kere pupọ.Lẹhinna, wafer ti wa ni didan titi di pipe, ati pe oju rẹ jẹ didan bi digi naa.
Iwọn ila opin ti awọn wafer silikoni jẹ 8-inch (200mm) ati 12-inch (300mm) ni iwọn ila opin.Ti o tobi ni iwọn ila opin, iye owo kekere ti ërún kan, ṣugbọn iṣoro processing ti o ga julọ.
7. Oṣupa ati abẹrẹ ion
Ni akọkọ, o jẹ dandan lati ba ohun alumọni oxide ati ohun alumọni nitride ti o han ni ita photoresisist, ki o ṣaju ipele ti ohun alumọni lati ṣe idabobo laarin tube gara, ati lẹhinna lo imọ-ẹrọ etching lati ṣafihan ohun alumọni isalẹ.Lẹhinna ju boron tabi irawọ owurọ sinu ilana silikoni, lẹhinna kun bàbà lati sopọ pẹlu awọn transistors miiran, lẹhinna lo Layer ti lẹ pọ lori rẹ lati ṣe ipele ti eto.Ni gbogbogbo, chirún kan ni awọn dosinni ti awọn fẹlẹfẹlẹ, bii awọn opopona intertwined.
7. Oṣupa ati abẹrẹ ion
Ni akọkọ, o jẹ dandan lati ba ohun alumọni oxide ati ohun alumọni nitride ti o han ni ita photoresisist, ki o ṣaju ipele ti ohun alumọni lati ṣe idabobo laarin tube gara, ati lẹhinna lo imọ-ẹrọ etching lati ṣafihan ohun alumọni isalẹ.Lẹhinna ju boron tabi irawọ owurọ sinu ilana silikoni, lẹhinna kun bàbà lati sopọ pẹlu awọn transistors miiran, lẹhinna lo Layer ti lẹ pọ lori rẹ lati ṣe ipele ti eto.Ni gbogbogbo, chirún kan ni awọn dosinni ti awọn fẹlẹfẹlẹ, bii awọn opopona intertwined.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-08-2023